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SIOS差分激光干涉儀SP 5000 DI模塊化結(jié)構(gòu)
瀏覽次數(shù):557發(fā)布日期:2023-07-18

德國SIOS專業(yè)從事高精度測量儀器的開發(fā)和制造,于1991年成立。從一開始,SIOS和研究所之間就進行了緊密的科學技術(shù)合作。這為開發(fā)和制造精密測量技術(shù)的創(chuàng)新產(chǎn)品奠定了基礎,尤其是在激光干涉儀領(lǐng)域。今天,過程測量和傳感器技術(shù)研究所與SIOS之間的合作仍在繼續(xù),以使雙方都受益。

SIOS公司始于“Technologie- undGründerzentrumIlmenau"(技術(shù)和形成中心),并于1993年搬入了“ Am Vogelherd"商業(yè)園區(qū)的自有建筑物。該公司仍位于該園中,盡管該建筑在近幾年中已進行了多次擴建。該公司與伊爾默瑙技術(shù)大學及其在伊爾默瑙技術(shù)區(qū)的聯(lián)系緊密,為業(yè)務奠定了堅實的背景,并確保了未來成功的技術(shù)進步。如今,SIOS已成為全球性企業(yè)。代表處分布在將近30個重要的工業(yè)國家中,大約50%的銷售額來自海外。

SIOS主要產(chǎn)品:

長度測量系統(tǒng)

激光干涉儀、差分激光干涉儀

長度和角度測量系統(tǒng)

雙光束干涉儀、三光束干涉儀

校準系統(tǒng)

校準激光干涉儀、緊湊型校準激光干涉儀、激光干涉儀、帶有角錐反射鏡的激光干涉儀

納米定位和納米測量機

激光振動計

測量探頭

測量和校準系統(tǒng)

穩(wěn)定的氦氖激光器

氣候測量站

主要型號:

SP-NG Series、SP 15000 C5、SP 5000 TR、NMM-1、SP-S Series、NA Series、LM Series、LM 20、PT Series、Model SL 02、Model SL 04、SP 5000 DI、SP 5000 DI/F

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我們的超穩(wěn)定差分激光干涉儀 SP 5000 DI 具有的熱穩(wěn)定性,可用于研發(fā)中的長期測量,例如 B. 在材料測試中使用。由于具有參考光束的結(jié)構(gòu),測量系統(tǒng)可以放置在距測量點更遠的位置,而不會顯著影響測量的分辨率和穩(wěn)定性。干涉儀的長度分辨率為 5 pm,由于相同光束長度下測量系統(tǒng)的差分原理,在正常實驗室條件下也可以實現(xiàn)。如果使用傾斜不變反射器進行測量,則長度測量的測量范圍為幾米。該系統(tǒng)具有模塊化結(jié)構(gòu),因此可以適應測量任務。調(diào)整可以很容易地進行并且具有長期穩(wěn)定性?;?SP 5000 DI 干涉儀的多軸系統(tǒng)結(jié)構(gòu)也支持多坐標測量。

性能特點

差分激光干涉儀可作為 OEM 版本作為編碼器安裝在機器軸上。 SP 5000 DI 可作為真空優(yōu)化版本提供,用于在真空中進行測量。

標準光束間距為 21 毫米

技術(shù)參數(shù)

詳細參數(shù)

位移測量范圍:5 m

位移分辨率:5 pm

角度測量范圍

帶反射器:±12.5°

帶平面鏡(建議距離≤2m):±1.5弧分

光束距離(標準):21 mm

波長:632.8 nm

HeNe激光器的頻率穩(wěn)定性(預熱時間之后):2·10-8

HeNe激光器的預熱時間:10 ... 20 min

工作溫度范圍:15 ... 30°C

測量反射鏡的位移速度:max.3 m /s

傳感器頭和電子單元之間的電纜長度:3 m,max.10 m

電源:100 ... 240 VAC / 47 ... 63 Hz

尺寸(長x寬x高)

傳感器頭(帶基板):150 x 140 x 43 mm

電子供應和評估單元(標準):450 x 400 x 150 mm

電子供應和評估單元(緊湊):250 x 400 x 150 mm

重量

感測頭:2.0 kg

底盤:1.5 kg