APC200是GPC3000的升級(jí)版,壓力流量控制器基本為電容壓力計(jì)供電(±15VDC),接收并顯示來(lái)自電容壓力計(jì)的壓力信號(hào),連接節(jié)流閥,通過(guò)PID或自整定功能控制壓力. 它是一個(gè)控制裝置。其中,如果使用自整定功能,則通過(guò)檢測(cè)流入腔室的氣體量、泵速、閥位引起的真空壓力變化等重要參數(shù)來(lái)獲取壓力控制因素。如果用戶使用此功能來(lái)控制壓力,可以更快地達(dá)到所需壓力。內(nèi)置兩個(gè)過(guò)程限位繼電器,幫助用戶設(shè)備過(guò)程。
APC200 有一個(gè)PCB 卡,可以選擇至多連接4 個(gè)MFC,每個(gè)PCB 包含2 個(gè)通道(連接2 個(gè)MFC)。
APC200 的設(shè)計(jì)非常方便且易于通過(guò)本地(前面板)、I/O 或 RS-232 / RS-485 遠(yuǎn)程控制。
壓力輸入信號(hào):標(biāo)準(zhǔn):0-10 VDC
所需輸入功率:90-132 或 180-264 VAC,50/60 赫茲
控制器重復(fù)性:±0.1% FS
環(huán)境操作溫度:150℃ - 450℃
輸出功率:±15 VDC ±5% @ 1.5 安培
模擬輸出信號(hào):0-10 VDC 用于 0-100% 閥門位置和 0-10 VDC 用于 1-100%,F(xiàn)S 壓力
尺寸:1/2-機(jī)架包裝:88mm H x 241mm W x 225 D